ОЦЕНКА КАЧЕСТВА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕНЗОСТРУКТУР МДМ

Чебурахин Игорь Николаевич, Начальник цеха 54, Научно-исследовательский институт физических измерений, niifi@sura.ru
Нефедьев Дмитрий Иванович, доктор технических наук, заведующий кафедрой информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, iit@pnzgu.ru

 621.3.049.772.1

Представлены результаты исследований способов оперативной оценки качества тонкопленочных тензоструктур в системе «металл – диэлектрик – металл» (МДМ), полученных методом распыления в вакууме на металлических подложках – упругих элементах (УЭ), используемых для изготовления датчиков давления. Показано, что предложенные решения при значительном сохранении времени и затрат позволяют оценивать дефектность (раковины, поры, инородные включения и др.) как на рабочей поверхности отполированного УЭ, так и послойно в тонкопленочной структуре МДМ на
этапах отработки технологии, а также при анализе некондиционных ЧЭ (техотхода), появляющихся в процессе производства.

Ключевые слова

упругий элемент (УЭ), чувствительный элемент (ЧЭ), диэлектрик, напыление, схема, полировка, поры, раковины, включения, изоляция, дефекты.

 Скачать статью в формате PDF

1. Ефремов, Д. А. Системы контроля многофункциональных СБИС / Д. А. Ефремов // Проблемы информатизации и управления : сб. науч. тр. – М., 1996.
2. Малышева, И. А. Технология производства интегральных микросхем / И. А. Малышева. – М. : Радио и связь, 1991.
3. Смирнов, Н. И. Оценка безотказности интегральных микросхем / Н. И. Смирнов, В. Б. Широков // Библиотека инженера надежности. – М. : Радио и связь, 1983.